发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05109780(A) 申请公布日期 1993.04.30
申请号 JP19910269809 申请日期 1991.10.18
申请人 NEC CORP 发明人 MATSUMURA TAKAO
分类号 H01L21/28;H01L21/268;H01L21/324;H01L21/338;H01L29/812 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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