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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05109702(A) 申请公布日期 1993.04.30
申请号 JP19910265828 申请日期 1991.10.15
申请人 NEC CORP 发明人 AKIYAMA TAKAO
分类号 H01L21/30;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/316 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
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