发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05109714(A) 申请公布日期 1993.04.30
申请号 JP19910265821 申请日期 1991.10.15
申请人 NEC CORP 发明人 MIKAGI IKU
分类号 C23C18/16;C25D7/12;H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 C23C18/16
代理机构 代理人
主权项
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