发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05109762(A) 申请公布日期 1993.04.30
申请号 JP19920086634 申请日期 1992.03.11
申请人 INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> 发明人 FURITSUTSU JIYUURUGEN HOON;KURAIBU MARUKOMU RIIBUSU
分类号 H01L21/76;H01L21/336;H01L21/762;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L27/088;H01L29/423;H01L29/78 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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