发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05109725(A) 申请公布日期 1993.04.30
申请号 JP19910271153 申请日期 1991.10.18
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 MURAKAMI HIROAKI
分类号 H01L23/52;H01L21/3205 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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