发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05109712(A) 申请公布日期 1993.04.30
申请号 JP19910265800 申请日期 1991.10.15
申请人 NEC CORP 发明人 KOBAYASHI TAKAAKI
分类号 H01L21/3205;H01L21/027 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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