| 摘要 |
Appareil et procédé de mesure d'un faible écartement allant jusqu'au point de contact, utilisant un étalonnage interférométrique de l'intensité marginale pour étalonner les intensités maximale et minimale d'au moins deux profils d'interférence monochromes ou quasi-monochromes dus à l'écartement entre deux articles (10, 12) dont l'un (10) est transparent. On réalise l'étalonnage de l'intensité en mesurant les intensités maximale et minimale de chaque couleur (2) tout en modifiant l'écartement (51) de l'ordre d'au moins un quart de la longueur d'onde de la lumière ou du rayonnement électromagnétique d'un autre type. L'étalonnage par modification d'écartement permet le calcul (26) de l'ordre marginal pour chaque longueur d'onde du rayonnement utilisé. Ce processus d'étalonnage permet de déterminer les intensités maximale et minimale dudit rayonnement, et de calculer l'ordre marginal des profils d'interférence. Une fois que l'on connaît les intensités maximale et minimale et les ordres marginaux, on peut calculer sans difficultés l'écartement à l'aide de la théorie de l'interférométrie. |
