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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM PRUEFEN DER OBERFLAECHE VON HALBLEITERWAFERN MITTELS LASERABTASTUNG.
摘要
申请公布号 DE3784989(D1) 申请公布日期 1993.04.29
申请号 DE19873784989 申请日期 1987.09.01
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 MIYOSHI, MOTOSUKE C/O PATENT DIVISION;OKUMURA, KATSUYA C/O PATENT DIVISION;OGAWA, SHIGERU C/O PATENT DIVISION, MINATO-KU TOKYO 105, JP
分类号 H01L21/66;G01B11/30;G01N21/88;G01N21/89;G01N21/94;G01N21/95;G01N21/956;(IPC1-7):G02B21/00 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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