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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER INTEGRIERTEN SCHALTUNG MIT BAUELEMENTEN, DIE GATES AUF ZWEI EBENEN ENTHALTEN.
摘要
申请公布号 DE68905487(D1) 申请公布日期 1993.04.29
申请号 DE19896005487 申请日期 1989.01.02
申请人 SGS-THOMSON MICROELECTRONICS S.A., GENTILLY, FR 发明人 BOIVIN, PHILIPPE, F-13770 VENELLES, FR
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/088;H01L29/08;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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