| 发明名称 |
MANUFACTURE OF HIGH PURITY LOW ARSENIC ANHYDROUS HYDROGEN FLUORIDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU636298(B2) |
申请公布日期 |
1993.04.29 |
| 申请号 |
AU19890038725 |
申请日期 |
1989.06.29 |
| 申请人 |
ALLIED-SIGNAL INC. |
发明人 |
SOMANAHALLI NARANAPPA SUBBANNA;CHARLES LEWIS REDMON;BARRY JOHN BOGHEAN;CHRISTIAN WAMSER |
| 分类号 |
B01J27/16;B01J27/24;C01B7/19;C01G28/00 |
主分类号 |
B01J27/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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