发明名称 LASER ABLATION DAMASCENE PROCESS
摘要
申请公布号 EP0497180(A3) 申请公布日期 1993.04.28
申请号 EP19920100866 申请日期 1992.01.20
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 ANDRESHAK, JOSEPH CHARLES;BASEMAN, ROBERT JEFFREY
分类号 B23K26/00;H01L21/3105;H01L21/3205;H01L21/768;H01S3/00;H05K3/02;H05K3/40;(IPC1-7):H01L21/268;H01L21/321;H01L21/90 主分类号 B23K26/00
代理机构 代理人
主权项
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