| 发明名称 |
MAGNETRON SPUTTERING INVOLVING USE OF A MAGNET TRACK WITH A COMPLEX CLOSED CURVE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2260769(A) |
申请公布日期 |
1993.04.28 |
| 申请号 |
GB19920019235 |
申请日期 |
1992.09.11 |
| 申请人 |
* NOVELLUS SYSTEMS LIMITED |
发明人 |
ELIOT K * BROADBENT;KENNETH C * MILLER |
| 分类号 |
C23C14/35;C23C14/34;H01J23/10;H01J37/34;H01L21/203;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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