| 发明名称 |
SHIELD PREPARATION FOR REDUCING FINE PARTICLE IN PHYSICAL VAPOR DEPOSITION ROOM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05106020(A) |
申请公布日期 |
1993.04.27 |
| 申请号 |
JP19910034185 |
申请日期 |
1991.02.28 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
HIYUUMOYAN TARII;HAIMU GIRUBOA;DONARUDO EMU MINTSU |
| 分类号 |
C23C14/00;C23C14/02;C23C14/56;C23F4/00;C30B25/06;C30B25/08;H01L21/203;H01L21/302 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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