发明名称
摘要
申请公布号 JPH0528902(B2) 申请公布日期 1993.04.27
申请号 JP19860132818 申请日期 1986.06.10
申请人 KAIJO KK 发明人 MYOSHI HIDEAKI;KAMIHARASHI TAKASHI;HOSHAMA MASAAKI
分类号 H01L21/66;H01L21/60 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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