发明名称 METROLOGY SYSTEM FOR ANALYZING PANEL MISREGISTRATION IN A PANEL MANUFACTURING PROCESS AND PROVIDING APPROPRIATE INFORMATION FOR ADJUSTING PANEL MANUFACTURING PROCESSES
摘要
申请公布号 US5206820(A) 申请公布日期 1993.04.27
申请号 US19900576304 申请日期 1990.08.31
申请人 AT&T BELL LABORATORIES 发明人 AMMANN, HANS H.;CHENG, KWOKMING J.;KOVACS, RICHARD F.;MICKS, JR., HENRY B.;POTECHIN, JAMEY;SIMONS, EVERETT;STEINES, RICHARD C.;TETZ, JOHN G.
分类号 B23P19/00;B23Q17/24;B23Q41/08;B65G61/00;G05B19/418;G06Q50/00;H01L21/02;H01L21/68;H05K13/08 主分类号 B23P19/00
代理机构 代理人
主权项
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