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发明名称 VISUAL INSPECTING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH05107043(A) 申请公布日期 1993.04.27
申请号 JP19910265762 申请日期 1991.10.15
申请人 NEC CORP 发明人 KOBAYASHI YOSHIAKI
分类号 G01B11/30;G01N21/84;H01L21/66 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
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