| 发明名称 |
METHOD FOR GROWING COMPOUND SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05105585(A) |
申请公布日期 |
1993.04.27 |
| 申请号 |
JP19910204498 |
申请日期 |
1991.08.14 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP |
发明人 |
SASA KOICHI;SHIRATA TAKAHARU;ATAMI TAKASHI |
| 分类号 |
C30B15/10;C30B27/02;C30B29/42 |
主分类号 |
C30B15/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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