发明名称 X-RAY REFLECTING SIC MIRROR AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05107397(A) 申请公布日期 1993.04.27
申请号 JP19910270867 申请日期 1991.10.18
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SUZUKI HIROFUMI;NISHITANI SHOICHIRO;KODERA SUNAO
分类号 C23C14/24;C23C16/32;G21K1/06 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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