发明名称 |
X-RAY REFLECTING SIC MIRROR AND MANUFACTURE THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH05107397(A) |
申请公布日期 |
1993.04.27 |
申请号 |
JP19910270867 |
申请日期 |
1991.10.18 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
SUZUKI HIROFUMI;NISHITANI SHOICHIRO;KODERA SUNAO |
分类号 |
C23C14/24;C23C16/32;G21K1/06 |
主分类号 |
C23C14/24 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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