OPTICAL MONITOR FOR FILM THICKNESS,申请号JP19910267597-传众专利搜索

发明名称	OPTICAL MONITOR FOR FILM THICKNESS
摘要
申请公布号	JPH05106040(A)	申请公布日期	1993.04.27
申请号	JP19910267597	申请日期	1991.10.16
申请人	MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD	发明人	TAKEUCHI SHIGEKI
分类号	C23C14/54;G01B11/06	主分类号	C23C14/54
代理机构		代理人
主权项
地址