| 发明名称 |
FORMATION METHOD OF THIN FILM, SILICON THIN FILM AND FORMATION METHOD OF SILICON THIN-FILM TRANSISTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05102189(A) |
申请公布日期 |
1993.04.23 |
| 申请号 |
JP19920023986 |
申请日期 |
1992.02.10 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
MATSUMOTO TOMOTAKA;INOUE ATSUSHI;ICHIMURA TERUHIKO;MURATA YUJI;WATABE JUNICHI;NAGAHIRO NORIO;HODATE MARI;OKI KENICHI;OKABE MASAHIRO |
| 分类号 |
C23C16/24;C23C14/26;C23C16/40;C23C16/50;C30B25/08;C30B25/10;C30B25/14;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
C23C16/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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