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发明名称 IC TEST DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05102260(A) 申请公布日期 1993.04.23
申请号 JP19910262084 申请日期 1991.10.09
申请人 ADVANTEST CORP 发明人 SAITO TOSHIYUKI;NIIJIMA HIRONOBU
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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