| 发明名称 |
MANUFACTURE OF GALLIUM ARSENIDE SINGLE CRYSTALLINE WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05102057(A) |
申请公布日期 |
1993.04.23 |
| 申请号 |
JP19910256665 |
申请日期 |
1991.10.03 |
| 申请人 |
HITACHI CABLE LTD |
发明人 |
INADA TOMOKI;SHIBATA MASATOMO |
| 分类号 |
C30B29/42;C30B31/22;C30B33/02;H01L21/265 |
主分类号 |
C30B29/42 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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