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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05102326(A) 申请公布日期 1993.04.23
申请号 JP19910234240 申请日期 1991.09.13
申请人 NEC CORP 发明人 OHASHI AKIRA
分类号 H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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