发明名称 INSPECTING METHOD OF PATTERN OF CIRCUIT WIRING
摘要
申请公布号 JPH0599971(A) 申请公布日期 1993.04.23
申请号 JP19910264364 申请日期 1991.10.14
申请人 NEC CORP 发明人 SUZUKI TAKAHIRO
分类号 G01R31/02 主分类号 G01R31/02
代理机构 代理人
主权项
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