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经营范围
发明名称
HEAT-TREATING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号
JPH05102165(A)
申请公布日期
1993.04.23
申请号
JP19910258803
申请日期
1991.10.07
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
NISHIBORI KAZUYA
分类号
H01L21/324
主分类号
H01L21/324
代理机构
代理人
主权项
地址
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