METHOD FOR GROWING COMPOUND SEMICONDUCTOR THIN FILM,申请号JP19910260299-传众专利搜索

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发明名称	METHOD FOR GROWING COMPOUND SEMICONDUCTOR THIN FILM
摘要
申请公布号	JPH05102038(A)	申请公布日期	1993.04.23
申请号	JP19910260299	申请日期	1991.10.08
申请人	FUJITSU LTD	发明人	MIYAGAKI SHINJI
分类号	H01L21/205	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
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