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发明名称 METHOD FOR FORMING POLYSILICON WIRING
摘要
申请公布号 JPH05102145(A) 申请公布日期 1993.04.23
申请号 JP19910257751 申请日期 1991.10.04
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 YAMAZAKI TORU
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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