发明名称 BIRD'S-BEAK REDUCING METHOD FOR INTEGTATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH05102133(A) 申请公布日期 1993.04.23
申请号 JP19920075745 申请日期 1992.02.28
申请人 NCR CORP 发明人 SUTEIIBUN ESU RII
分类号 H01L21/316;H01L21/32;H01L21/762 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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