发明名称 THERMALLY OXIDIZING METHOD FOR SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH05102131(A) 申请公布日期 1993.04.23
申请号 JP19910261903 申请日期 1991.10.09
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 KARASAWA OSAMU;MURAKAWA EMI
分类号 H01L21/31;H01L21/316 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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