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经营范围
发明名称
THERMALLY OXIDIZING METHOD FOR SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号
JPH05102131(A)
申请公布日期
1993.04.23
申请号
JP19910261903
申请日期
1991.10.09
申请人
KAWASAKI STEEL CORP
发明人
KARASAWA OSAMU;MURAKAWA EMI
分类号
H01L21/31;H01L21/316
主分类号
H01L21/31
代理机构
代理人
主权项
地址
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