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发明名称 PRODUCTION DEVICE FOR SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH05102088(A) 申请公布日期 1993.04.23
申请号 JP19910261599 申请日期 1991.10.09
申请人 NEC YAMAGUCHI LTD 发明人 HAYASHI SANAE
分类号 C23F4/00;H01L21/203;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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