发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05102079(A) 申请公布日期 1993.04.23
申请号 JP19910263854 申请日期 1991.10.11
申请人 CANON INC 发明人 SEKINE YASUHIRO
分类号 C30B25/14;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L23/52;H01L29/04;H01L29/78 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
地址