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经营范围
发明名称
EXCIMER LASER LIGHT IRRADIATING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH05102062(A)
申请公布日期
1993.04.23
申请号
JP19910285700
申请日期
1991.10.04
申请人
SONY CORP
发明人
NOGUCHI TAKASHI
分类号
H01L21/268;H01L21/324;H01S3/00
主分类号
H01L21/268
代理机构
代理人
主权项
地址
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