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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05102064(A) 申请公布日期 1993.04.23
申请号 JP19910260923 申请日期 1991.10.09
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MUKAI RYOICHI
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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