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发明名称 DIAMOND SUBSTRATE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH05102047(A) 申请公布日期 1993.04.23
申请号 JP19910283938 申请日期 1991.10.04
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 TODA NAOHIRO;TOMIKAWA TADASHI;FUJITA NOBUHIKO
分类号 C30B29/04;H01L21/205 主分类号 C30B29/04
代理机构 代理人
主权项
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