发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR ETCHING SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH05102124(A) 申请公布日期 1993.04.23
申请号 JP19910259034 申请日期 1991.10.07
申请人 NEC CORP 发明人 SHIBATA SHIGERU
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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