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发明名称
摘要
申请公布号	JPH0531258(U)	申请公布日期	1993.04.23
申请号	JP19910079712U	申请日期	1991.10.01
申请人		发明人
分类号	H01L21/60;H01L25/065;H01L25/07;H01L25/18;(IPC1-7):H01L25/065	主分类号	H01L21/60
代理机构		代理人
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