| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR EVALUATING PIEZOELECTRIC MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05102282(A) |
申请公布日期 |
1993.04.23 |
| 申请号 |
JP19910262397 |
申请日期 |
1991.10.09 |
| 申请人 |
TOYOTA MOTOR CORP |
发明人 |
YAMAZAWA YASUSHI;KANEKO KAZUHIDE |
| 分类号 |
H01L21/66;H01L41/083;H01L41/09 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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