SURFACE PROCESSING METHOD,申请号JP19910260605-传众专利搜索

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发明名称	SURFACE PROCESSING METHOD
摘要
申请公布号	JPH05102100(A)	申请公布日期	1993.04.23
申请号	JP19910260605	申请日期	1991.10.08
申请人	NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT>	发明人	MAEDA MASAHIKO;ARITA MUTSUNOBU
分类号	H01L21/302;H01L21/3065	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
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