发明名称 CERAMIC HEATER
摘要
申请公布号 JPH05101871(A) 申请公布日期 1993.04.23
申请号 JP19910262300 申请日期 1991.10.09
申请人 NGK INSULATORS LTD 发明人 KOBAYASHI HIROMICHI;USHIGOE RYUSUKE;HONDA TOSHIHIKO;NOBORI KAZUHIRO
分类号 H01L21/324;H05B3/02;H05B3/20 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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