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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05102180(A) 申请公布日期 1993.04.23
申请号 JP19910259321 申请日期 1991.10.07
申请人 NIPPONDENSO CO LTD 发明人 KATADA MITSUTAKA;KATO AKIRA;FUJINO SEIJI
分类号 H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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