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发明名称 DRY ETCHING OF PEROVSKITE TYPE OXIDE FILM
摘要
申请公布号 JPH05102093(A) 申请公布日期 1993.04.23
申请号 JP19910260822 申请日期 1991.10.08
申请人 SHARP CORP 发明人 TAKEHARA DAISUKE
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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