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发明名称 CHEMICAL VAPOR DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号 KR930003135(B1) 申请公布日期 1993.04.22
申请号 KR19890002688 申请日期 1989.03.04
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND. CO., LTD. 发明人 MATSUSHITA, YOSHINARI;FUKUMOTO, KENJI;TAKEDA, SATOSHI
分类号 H01L21/205;C23C16/54;H01L21/31;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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