发明名称 REINIGUNGSVERFAHREN NACH TROCKNEM AETZEN ZUR RESTAURATION DER EIGENSCHAFTEN EINES SUBSTRATES.
摘要
申请公布号 DE3782558(T2) 申请公布日期 1993.04.22
申请号 DE19873782558T 申请日期 1987.05.22
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 CHAKRAVARTI, SATYA NARAYAN, HOPEWELL JUNCTION NY 12533, US;FONASH, STEPHEN JOSEPH, STATE COLLEGE PA 26801, US;MU, XIAO-CHUN, STATE COLLEGE PA 16801, US
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/302;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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