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发明名称 BESTIMMUNG DES AETZUNGSENDPUNKTES.
摘要
申请公布号 DE3879321(D1) 申请公布日期 1993.04.22
申请号 DE19883879321 申请日期 1988.08.11
申请人 FAIRCHILD SEMICONDUCTOR CORP., SANTA CLARA, CALIF., US 发明人 RILEY, PAUL E., COLUMBIA MARYLAND 21044, US;KULKARNI, VIVEK D., SUNNYVALE CALIFORNIA 94086, US;CASTEL, EGIL D., CUPERTINO CALIFORNIA 95014, US
分类号 H01L21/302;C23F4/00;H01L21/3065;H01L21/3105;H01L21/3213;H01L21/66;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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