发明名称 PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 KR930003148(B1) 申请公布日期 1993.04.22
申请号 KR19840007347 申请日期 1984.11.24
申请人 HITACHI LTD. 发明人 SHIMIZU, ISAO;HOYA, KATSUO
分类号 H01L29/84;G01L9/00;(IPC1-7):H01L41/00;H01L27/20 主分类号 H01L29/84
代理机构 代理人
主权项
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