| 主权项 |
1﹒一种处理半导体用化学品之浓度的定量测定方法,包括测定一浓度已知之化学品水溶液于800-1400nm处之一近红外线光谱,获得该光谱与纯水之近红外线光谱之间于800-1400nm有显着吸光谱带差异处之波长的吸收率,从该浓度与吸收率间之关系的回归分析导出如下之校准方程式(1),且藉使用校准方程式(1)测定化学品试样之浓度:C=aiAi(I)式中C为化学品试样之浓度,Ai为获得该吸光谱带之i处的吸收率,i系由化学品之种类决定的常数,i和i之値被使用来导出校准方程式(I),其中该化学品系由一氨与过氧化氢之混合物,一氢氯酸与过氧化氢之混合物,一硫酸与过氧化氢之混合物,氢氟酸、一氢氯酸与硝酸之混合物,一氢氟酸与氟化铵之混合物,以及次氯酸钠所组成之族中所择出之任一种或一种以上化学品。图示简单说明:第1图概要绘示一适于实施上述之本发明方法的装置。第2图一第7图为表示各种不同试样之参考浓度与白校准方程(I)所获得之试样的预测浓度之间的相互关联的图表。第8和第9图图为NH|OH 一 H|O|,一H|O|,系统之近红外线光谱。第10和11图为H|SO|一 H|O|,一 H|O|系统之近红外线光谱。 |
