| 发明名称 |
FACING TARGETS SPUTTERING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2228268(B) |
申请公布日期 |
1993.04.21 |
| 申请号 |
GB19890020847 |
申请日期 |
1989.09.14 |
| 申请人 |
* PIONEER ELECTRONIC CORPORATION |
发明人 |
TAKAMASA * YOSHIKAWA |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/35;C23C14/54;G11B7/26;G11B11/10;G11B11/105;H01J37/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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