发明名称 Plasma treatment process
摘要
申请公布号 GB2260517(A) 申请公布日期 1993.04.21
申请号 GB19910022244 申请日期 1991.10.19
申请人 * NORTHERN TELECOM LIMITED 发明人 ROGER JAMES * WILLIAMSON;DAVID JOHN * CARTER
分类号 H01L21/311;H03H3/04 主分类号 H01L21/311
代理机构 代理人
主权项
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