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经营范围
发明名称
Plasma treatment process
摘要
申请公布号
GB2260517(A)
申请公布日期
1993.04.21
申请号
GB19910022244
申请日期
1991.10.19
申请人
* NORTHERN TELECOM LIMITED
发明人
ROGER JAMES * WILLIAMSON;DAVID JOHN * CARTER
分类号
H01L21/311;H03H3/04
主分类号
H01L21/311
代理机构
代理人
主权项
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