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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0527600(B2) 申请公布日期 1993.04.21
申请号 JP19880186885 申请日期 1988.07.28
申请人 SUMITOMO METAL MINING CO 发明人 SATO NAOFUMI;TSUNODA YOSHIISA
分类号 C30B27/02;C30B29/42;H01L21/208 主分类号 C30B27/02
代理机构 代理人
主权项
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