发明名称 OBJECT PROFILE MEASURING METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0511117(A3) 申请公布日期 1993.04.21
申请号 EP19920401186 申请日期 1992.04.24
申请人 NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE CORPORATION 发明人 ISHII, AKIRA
分类号 G01B11/24;(IPC1-7):G01B11/24 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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